Geautomatiseerd beheer van waferopslagplaatsen dankzij RFID systeem

Het RFID systeem BL ident van Turck coördineert de robotondersteunde voorraadplaatsing en -verwijdering van tussenproducten in de halfgeleiderproductie in China

Een van 's werelds grootste halfgeleiderfabrikanten in China stond voor de uitdaging om de delicate silicium wafers veilig op te slaan tussen kwaliteitstesten en verpakking. Deze gevoelige componenten moeten in materiaalrekken worden opgeslagen tot de volgende processtap. In deze procesfase werden de wafers voorheen handmatig verwijderd en werd de voorraadverwijdering op papieren vellen gedocumenteerd. Dit was niet alleen tijdrovend, maar ook foutgevoelig en gaf slechts een slecht overzicht van de materiaalstroom in het totale proces. Er was dus behoefte aan een geautomatiseerde oplossing die een betrouwbaar en efficiënt proces zou garanderen.

Daarom gebruikt de klant nu RFID in het magazijnbeheer om een foutloze en transparante productie in het hele proces te bereiken. RFID-opslaglocatie-identificatie gebruikt RFID tags om te controleren welke wafer op welke opslaglocatie is opgeslagen tijdens het plaatsen van de voorraad en het verwijderen of overbrengen van de voorraad. Alle opgeslagen wafers kunnen dus indien nodig onmiddellijk worden teruggevonden.

Een robot zorgt voor een betrouwbare plaatsing en verwijdering van wafers in het rek
De RFID tag bevindt zich boven op de waferdrager
Het BL20 RFID- en I/O-systeem van Turck garandeert een betrouwbare communicatie met de PLC
RFID HF schrijf-/leeskoppen lezen de tags van de waferdragers uit tijdens verplaatsen van de voorraad

RFID oplossing op robotbasis

Gespecialiseerde, krachtige handlingrobots spelen een belangrijke rol bij de geautomatiseerde verwerking van onbewerkte wafers tot geïntegreerde circuits. Deze AGV's (Automated Guided Vehicles) met geïntegreerde robotarm navigeren autonoom en garanderen een betrouwbare handling van de componenten tussen de processen. In samenwerking met een Chinees roboticabedrijf ontwikkelde Turck een complete RFID oplossing om een AGV te gebruiken voor materiaaltransport. De oplossing verkort de bevoorradingstijd voor de wafers aanzienlijk en minimaliseert het werk dat met deze processtap gepaard gaat. Het magazijnbeheersysteem koppelt de informatie van het RFID systeem met de informatie van het productiecontrolesysteem (MES) en bewaakt alle wafers in realtime.

BL ident RFID oplossing overtuigt

De BL20 gateway van Turck past goed in de schone en opgeruimde productieomgeving. Hij stuurt de door de RFID- en I/O-modules in het veld verzamelde gegevens door naar de overkoepelende besturing. De RFID tags worden aan de bovenkant van de wafeldrager bevestigd. RFID schrijf-/leeskoppen geïnstalleerd op de bovenkant van de wafer schappen herkennen automatisch de dragers en garanderen zo hun betrouwbare identificatie tijdens het plaatsen van de voorraad en het verwijderen van de voorraad door de AGV.

LED displays geven te allen tijde duidelijke informatie over de bedrijfsstatus van de schrijf-/leeskop en de RFID module. De grote leesafstand van de schrijf-/leeskop geeft de robotarm voldoende ruimte om de drager op te pakken en te positioneren. De behuizing van de drager van epoxyhars in beschermingsklasse IP68 verstoort het leesproces niet, evenmin als verontreiniging van het oppervlak. Bovendien kan de tag worden hergebruikt, wat ideaal is in closed loop toepassingen. En projectmanager Tao Zhang Yitao was onder de indruk van nog meer voordelen: "De voorgemonteerde kabels kunnen snel geïnstalleerd worden en garanderen een veilige datatransmissie. Bovenal kunnen de RFID producten van Turck tijdens bedrijf snel worden vervangen, wat de uitvaltijd aanzienlijk vermindert en het onderhoud van de apparaten snel en eenvoudig maakt."

Meer informatie

In deze Sectie

Product categoriën

Technologiën

Geautomatiseerd beheer van waferopslagplaatsen dankzij RFID systeem

Het RFID systeem BL ident van Turck coördineert de robotondersteunde voorraadplaatsing en -verwijdering van tussenproducten in de halfgeleiderproductie in China

Meer informatie